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Products

パーティクルカウンター

用途に応じてお選びいただけるパーティクル検出器です。
Pentagon Technologies 社による業界標準の製品や微小パーティクル測定、モニタリングのグローバルトップ企業、PMS(Particle Measuring System)の製品など、用途に応じたさまざまなパーティクル検出器を用意しています。
PENTAGON TECHNOLOGIES QIII 表面パーティクル検出器
Pentagon Technologies 社が提供するQIII 表面パーティクル検出器(SPD)は、現在の表面パーティクルの計測と管理における業界標準となっている製品です。QIII は、表面上の粒子が簡単・迅速に測定でき、クリーニングの手順と基準を定量的に規定できるため、作業者の勘と経験に頼ること無く粒子管理のバラつきを抑えます。
QIII Max SPD / QIII ULTRA SPD は、昨今のクリーン環境で使用する為の、ペンタゴン社 最新技術が備わっております。

QIII Max Surface Particle Detector

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QIII Ultra Surface Particle Detector

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特徴
  • 数秒で試料表面のパーティクルを検出
用途
  • 精密洗浄パーツの出荷前・受入時の品質確認
  • 各種製造装置のクリーン維持管理
  • クリーン化が求められる試料表面の洗浄度検査
効果
  • パーティクルに起因したトラブルの低減
  • 表面洗浄度管理・定量化
  • 各種装置メンテナンス回数の低減
測定レンジ
  • QIII MAX:0.3/ 0.5/ 1.0/ 3.0/ 5.0/ 10.0 μm
  • QIII ULTRA:0.1/ 0.2/ 0.3/ 0.5/ 1.0 / 5.0 μm
  • QIII LS :5/ 25/ 50/ 75/ 100/ 125 μm
PARTICLE MEASURING SYSTEMS 気中パーティクルカウンター
PMS(Particle Measuring System)は、1972年Robert Knollenberg により米国コロラド州Boulderに創立された、微小パーティクル測定、モニタリングのグローバルトップ企業です。最近では、半導体のデザインルールの進歩に伴い粒径10nmの気中パーティクルおよび20nm液中パーティクルを測定可能な製品を開発・リリースしました。
また、製薬・バイオ・食品業界向けに工場のクリーン環境を常時モニターする製品群もリリースし、あらゆる産業に対応できるラインナップを用意しています。

Nano‐ID NPC10

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最小粒径感度10nm。クリーンルーム内での、製造および試験向けに開発されたナノパーティクルカウンターです。

LasairⅢ‐110

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最小粒径感度0.1μm。空気清浄度のクラス検証から常時モニタリングまで使用できるパーティクルカウンターの最上位機種です。

LasairⅢ 310B/310C/350L/5100

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最小粒子感度0.3/0.5μm。空気清浄度のクラス検証に使用できる軽量で持ち運びが容易なパーティクルカウンターです。流量28.3L/minの310Cは切り替え器と併用して多点の常時モニタリングとしても使用できます。

HandilazMini

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最小粒子感度0.3μm。微粒子の簡易測定用の小型で軽量なパーティクルカウンターです。

総代理店(PMS JAPAN):スペクトリス(株)PMS事業部

カタログ請求について

パーティクルカウンター各製品の詳細は、カタログに記載されております。
以下より、お気軽にお問い合わせ下さい。

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