↑

Products

ガス精製器

NuPure社の高品質な各種ガス精製器を取り扱っています。
弊社は、ガス精製器の開発・製造メーカーであるカナダNuPure社の日本総代理店として、NuPure社ガス精製器の輸入・販売を行っております。
NuPure社は1996年に設立されたカナダのオタワに拠点を置く、ガス精製器の開発・製造・販売を行うメーカーです。長年ガスの精製と濾過技術の研究・開発に従事しており、半導体業界、分析業界で質の高いメーカーとして評価されています。

イメージ

UltraPure™ PF Series™

Point-of-Use UHP Gas Purifiers

PFシリーズは、精製器と微粒子フィルターの最適な技術を組み合わせたガス精製器で、広範囲のガス不純物をppbレベル以下まで減少させます。対象ガスは、不活性ガス、水素ガス、 水素系ガス、酸性ガス、酸素などです。さらに0.003μmのフィルター機能を備えています。
分野: 半導体産業、高純度ガス溶接、ガス分析カート、分析産業、研究開発、ガスボトル補填工場など

イメージ

THE ELIMINATOR® CA

Room Temperature Purifier for Inert Gases and Hydrogen

Eliminator CAガス精製器は、室温での操作でガス不純物をSub-ppbレベルまで低減させます。Eliminator CAは不活性ガス(窒素、アルゴン、ヘリウム、クリプトン、ネオン、キセノン)から、H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHCなどを1ppb未満レベルまで除去致します。また水素からH2O、O2、CO2を除去します。
分野: 半導体産業、高純度溶接、不活性ガスパージ、ガスシリンダーキャビネット、ガス分析カート、研究開発など

イメージ

THE ELIMINATOR® CAG

Room Temperature Purifier for Inert Gases and Hydrogen

NuPure Eliminator CAGガス精製器は、特許取得済みのCAG( Catalyst/Absorber/Getter )精製技術を採用しており、精製性能が大幅に改善されています。この結果、アウトレット純度0.5ppb未満レベルの精製性能を実現しています。また室温での操作で優れた性能を発揮します。CAG精製器は、液体源から不活性ガスを精製するのに効果的です。
分野: APIMSゼロ点校正、半導体産業、半導体プロセス装置、ガスシリンダーキャビネット、ガス分析カート、分析業界、研究開発など

イメージ

Optics™ OA

Room Temperature Purifier for Optics Purge Gases

NuPure Optics OAガス精製器は、CDA、不活性ガス(窒素やヘリウムなど)、O2、O2/不活性 ガスを精製するために設計されています。それは、室温で使用してN2およびCDAからハイドロカーボンおよびその他のガス状不純物をPPTレベルまで減少させます。Optics OAは、レンズパージのためのガス精製に適しています。
分野: フォトリソグラフィ、レンズパージ、ハイドロカーボンの除去、硫黄化合物の除去、FPDの製造、Metrologyなど

イメージ

OMNI Point-of-Use Gas Purifier Systems
Omniシリーズのポイント・オブ・ユースガス精製システムは、ヒーター、断熱材および電子機器(温度制御)が一体となったガス精製器です。Ultra Pure PF/XLシリーズの精製器(フィルター)が内蔵されており、不活性ガス、水素、水素化合物、酸性ガス、酸素などから、Sub-ppbレベルまでガス不純物を低減することができます。PFシリーズには、0.003μmのフィルター内蔵されています。
分野: 分析器(ゼロ/校正ガス)、ガス分析カート、プロセス装置、研究開発、半導体産業など

イメージ

C Series
シリーズは不活性ガスおよび水素用ピュリファイアー・フィルターです。NuPure Cシリーズは、実績あるガス精製と濾過のテクノロジーを組み合わせ、一体化・小型化した製品です。Cシリーズは、ハイドロカーボンを含まない反応化学物質と、焼結した316Lフィルターメディア(オプションで0.003μm)の独自の組み合わせで構成されています。ビルトインフィルターオプションは効率的な濾過を提供し、脱落およびガス放出を最小限に抑え、そしてすぐに使用することができます。
分野: ガス溶接

カタログ請求について

ガス精製器の各製品の詳細は、カタログに記載されております。
以下より、お気軽にお問い合わせ下さい。

お問い合わせ・カタログ請求はこちら